太阳能级硅片清洗液原料配比研究《太阳能》2023年第6期

Posted: 2023-08-16

作者：王成信
上海喜赫精细化工有限公司

摘要：太阳能级硅片在金刚线切割和打磨过程中会受到严重污染，需要采用物理或化学方法去除其表面的污染物，以满足硅片制绒前对洁净度和表面状态的要求。为了减少对硅片的过度腐蚀并保持清洗液的持久性，通过正交试验法进行实验，确定硅片清洗液中表面活性剂成分的最佳配比。结果显示：1)表面活性剂最佳配比为环氧丙烷(PO)嵌段的TEXZO-FMEE99:无磷TEXZO-EDDHA-Na:TEXZO-FMES:烷基磺酸钠TEXZO-PAS:烷基糖苷(APG)=7:8:3:5:4;2)按照最佳配比配置的硅片清洗液无磷、环保，且清洗性能持续时间久，应用于实际的硅片清洗工艺后硅片的不良率小于0.5%，符合工厂实际生产要求。